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    Gas Scrubber,特氣柜,使用Arsine(AsH3)氣體進行LPCVD工藝的處理信息

    2020-04-01 10:25:07        0

    Gas Scrubber,特氣柜,使用Arsine(AsH3)氣體進行LPCVD工藝的處理信息

    問:我們需要為新的摻雜工藝添加一個LPCVD工具,我們需要將其接入產線。該過程要求使用砷化氫(AsH3),我們對此沒有很多經驗,但是我們知道這氣體是劇毒的。我們需要在Fab中添加一個特氣柜和一個尾氣處理設備來處理這種氣體。您對特氣柜和尾氣處理設備有什么建議?我需要做一個特別的氣瓶房來存放這些氣瓶嗎?由于其毒性,我是否需要雙套管氣體管道?感謝您的幫助。

    答:謝謝你的提問。是的,砷化氫(AsH3)是用于二氧化硅加工工藝的特別危險的氣體。它被歸類為高毒,易燃氣體,因此您需要適當的氣瓶間來存放它。此外,由于它是氫化物氣體,因此對對空氣的濕度也有要求。我們強烈建議您使用全自動特氣柜,以確保您更換瓶子既安全又有效,可以防止面板上的水分進入。您還需要凈化氣體凈化器,以清除凈化氣體供應中可能存在的任何水分。最后建議管道安裝時使用雙套管管道安裝。

    關于Gas Scrubber氣體廢氣處理設備,AsH3通常以小流量運行,并且吸附式的尾氣處理設備可以成功消除AsH3氣體,因此建議使用干式吸附式尾氣處理系統。


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